Vật liệu và công nghệ chế tạo

Nghiên cứu vật liệu bán dẫn dải cấm rộng cho linh kiện công suất, quy trình quang khắc trên phòng sạch lớp 1000, kỹ thuật lắng đọng ALD/PECVD và đo lường đặc trưng vật liệu.

Dự án thuộc hướng nghiên cứu